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크린룸이란 실내공기중의먼지, 미립자를 최소로 유지시키고 실내의 압력 습도,온도
기류의 분포와 속도등을 제어하기위해 만들어진 특수한방을 크린룸이라 합니다
필요에 따라서 온도/습도/정전기/실내압력/소음/진동 등의 환경조건 등에 대해서도
제어 및 관리가 행하여지는 공간을 말합니다.

크린룸시스템은 일정한 공간 속에 미립자의 침입을 방지하고 발생한 먼지를 제거하는 시스템으로
크린룸은 반도체 산업뿐만 아니라 정밀산업, 전자산업, 의약품제조, 식품제조산업,
광학기계, 병원, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있습니다.

크린룸에서 제거해야할 먼지의 크기는 사람의 눈에 보이지 않는
아주 작은 미립자를 대상으로 하고 있습니다.
사람이 육안으로 확인 할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며
이러한 먼지는 크린룸에서 제거 하기에는 너무 크기 때문에
공조기에서 제거되어야 합니다.
이처럼 크린룸에서는 현미경으로만 확인 할 수 있는 먼지를 대상으로 하고 있는 것이 특징입니다.

크린룸시스템

비층류방식
 난류방식이라고도 불려지는 것으로서 일반적인 공조설비에
 HEPA Filter를 사용하므로서 청정공간을 얻을수 있는 것이다.
이 방식은 실내의 기류가 흩어져 소용돌이가 발생하여 실내에서 발생한
미립자는 공기중으로 날려 올라가서 희석되어 배출되게 된다.
그 때문에 높은 청정도를 유지하는 것은 어렵게 되어 그 청정도는
 미국연방 209E 에서 말하는 Class 10,000-100,000으로 되어 있다.

수직층류 방식
천정 전면에 부칙시킨 HEPA filter층으로부터 마루의 격자면을 통하여
 청정공기를 수직으로 흘러보내는 것이다.
이 방식은 실내에서 발생한 미립자는 바로 하류에 이동하여 실내로 배출되기 때문에
 비층류 방식과 같이 실내에 채류, 축적되는 일은 없다.
천정면의 조명기구 및 실내의 기구등 때문에 완전한 층류 상태라고는 말할 수 없지만
미립자를 제거 하는데는 대단히 유효한 방법이며, 크라스 100을 유지할 수 있다.
천정면에서의 분출하는 풍속은 0.5m/s로 하며 환기회수는 200-300회/H 이상으로 된다.
그 때문에 Return 공기 의 일부를 공기 조화기에 되돌려 가급적 많은 공기를 순환시켜
건설비의 절감을 도모하는 일이 많다
 

수평층류 방식
 벽면에 붙인 HEPA filter층으로부터 반대측의 벽면을 향하여 청정 공기를 수평으로 흐르게 하는 것이다.
수평층류 방식에서는 HEPA filter층의 바로 하류의 일차작업 위치에서
 Class100의 청정도가 얻어 질 수 있지만 하류에 갈수록 상류에서 발생한
오염물의 영향으로 고농도가 되는 경우가 있다.
벽면에서의 분출하는 풍속은 0.5m/s로 하며 환기회수는 200-300회/H 이상으로 된다.
그 때문에 수직층류 방식과 같이 크린룸 내부의 공기를 순환시키는 방식이 많이 사용된다.

변용 방식

 경제적인 비층류 방식과 높은 청정도를 얻을 수 있는 층류 방식을 절충한 방식이다.
이것은 생산활동에 필요한 최소한의 공간만을 높은 청정도를 유지하는 것으로
비층류방식의 크린룸에 Filter unit와 Clean bench를 연속적으로 장치하여
국부적으로 층류상태로 하여 높은 청정도를 얻는 방식이다.
작업대 위에서는 Class 100이지만 기타의 공간에서는 Class 10,000정도가 적당한 것으로 되어 있다

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